德國IFM易福門PI2798壓力傳感器選購指南
德國IFM易福門PI2798壓力傳感器中,彈性敏感元件可分為感受元件和彈性應(yīng)變元件。感受元件把壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到彈性應(yīng)變元件應(yīng)變最敏感的部位,而應(yīng)變片則貼在彈性應(yīng)變元件的最大應(yīng)變處。實際上較復(fù)雜的應(yīng)變管式和應(yīng)變梁式都屬于這種型式。感受元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等,彈性應(yīng)變元件有懸臂梁、固定梁、Π形梁、 環(huán)形梁、薄壁筒等。這種應(yīng)變計是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍寶石上制成的。它通過改變真空沉積時襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低,從而控制電阻溫度系數(shù)和靈敏度系數(shù)。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補償薄膜應(yīng)變計。薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變計吸收了金屬應(yīng)變計和半導(dǎo)體應(yīng)變計的優(yōu)點,并避免了它的缺點
試件材料與應(yīng)變材料線膨脹系數(shù)不同的影響。應(yīng)變片使用時,要粘貼在試件上,若試件材料與應(yīng)變片材料線膨脹系數(shù)不同,環(huán)境溫度變化時,應(yīng)變片會產(chǎn)生附加變形,產(chǎn)生附加電阻。用半導(dǎo)體應(yīng)變計測量應(yīng)變時,一般用電橋電路,初始時,電橋處于平衡狀態(tài)(即零點),當溫度變化時,由于應(yīng)變片電阻溫度系數(shù)的存在和應(yīng)變片與試件的線膨脹系數(shù)不同,使得應(yīng)變片阻值發(fā)生變化,電橋偏離平衡狀態(tài),在不感受應(yīng)變的情況下有輸出,稱之為熱零點漂移。溫度變化時,應(yīng)對溫度變化引起的虛假應(yīng)變進行補償。是一種較理想的應(yīng)變計。
擴散型半導(dǎo)體應(yīng)變計這種應(yīng)變計是將 P型雜質(zhì)擴散到一個高電阻N型硅基底上,形成一層極薄的P型導(dǎo)電層,然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成。它的優(yōu)點是穩(wěn)定性好,機械滯后和蠕變小,電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導(dǎo)體應(yīng)變計小一個數(shù)量級。缺點是由于存在P-N結(jié),當溫度升高時,絕緣電阻大為下降。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴散法制成的它們之間可根據(jù)不同需要組合成多種型式。 應(yīng)變式壓力傳感器主要用來測量流動介質(zhì)動態(tài)或靜態(tài)壓力,例如動力管道設(shè)備的進出口氣體或液體的壓力、內(nèi)燃機管道壓力
技術(shù)參數(shù):
介質(zhì)溫度 [°C]
-25...125
爆破壓力值
30000 mbar
12044 inH2O
3000 kPa
抗壓強度
6000 mbar
2400 inH2O
600 kPa
耐真空 [mbar]
-1000
壓力
相對壓力
齊平安裝
有
允許工作壓力的值[bar]
10
電氣數(shù)據(jù)
絕緣電阻最小值 [MΩ]
100; (500 V DC)
防護等級
III
反相保護
有
測量原理
流體靜力學(xué)的
工作電壓 [V]
20...32 DC
電流損耗 [mA]
3.6...21
開機延遲時間 [s]
1
3-線
工作電壓 [V]
18...32 DC
電流損耗 [mA]
< 45
開機延遲時間 [s]
0.5
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